Wide Angle & Resolution Metrology (Metrología de Alta Resolución y Amplio Ángulo) | |
DESCRIPCIÓN DE LA OPERACIÓN/PROYECTO:WOOPTIX actualizará su actual sistema de metrología de 50mm de campo de visión a uno de 300mm (dimensión de las obleas de silicio más utilizadas), listo para comercializarse, basado en una tecnología original (patentada por Wooptix) que permite medir la componente de fase de frente de onda de un rayo de luz (sensor de frente de onda), y alcanzar una resolución varios órdenes de magnitud superior a la de otros sensores. | |
OBJETIVOS:El objetivo de WARM es introducir al mercado un nuevo sistema de alta tecnología orientado a la metrología de alta precisión. | RESULTADOS PREVISTOS:WARM proporcionará metrología subnanométrica en tiempo real con toda la resolución bidimensional del sensor (varios órdenes de magnitud por encima del estado del arte), y con un diseño sencillo y compacto. |
PRESUPUESTO: 841.039 € euros | |
AYUDA FEDER RECIBIDA: 714.883 € euros | |
